經濟部產業發展署

矽半導體製程材料技術推動計畫

本計畫引導國內廠商投入矽半導體製程材料，挑選國內近期可發展材料，調查國內業者技術缺口並提出發展策略以利後續擴展輔導方向，提前部署利基材料技術，並透過建置轉型機制，協助相關行業之轉型評估，提供相關轉型建議。建立材料雛型評估流程，為國內材料業者的開發工作提供實質的參考依據。同時，深入評估國際知名企業在先進材料方面的關鍵規格與特性，加速國內廠商轉型，提升關鍵材料的自主供應能力。